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Vacuum Microelectronics
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Description
Die ständig steigenden Anforderungen an die Mikroelektronik lassen sich zum Teil mit Hilfe von Vakuumtechnologien bewältigen: Im Vakuum kann man Bauelemente schneller, mit größerer Reinheit und zuverlässiger herstellen und zusammenfügen. Anwendungsgebiete reichen von der Herstellung integrierter Schaltkreise bis zu neuen Anzeigegeräten. Das erste Buch zu einem schnell wachsenden Forschungsgebiet!
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Product Details
- Oct 3, 2001 Pub Date:
- 047132244X ISBN-10:
- 9780471322443 ISBN-13:
- English Language
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