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Semiconductor Device and Failure Analysis: Using Photon Emission Microscopy
by Chim, Wai Kin
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Description
Integrierte Schaltkreise werden immer komplexer - deshalb wird es zunehmend schwieriger, Fehler schnell und treffsicher aufzuspüren. Die Photonenemissionsmikroskopie (PEM) ist eine Analysetechnik auf physikalischer Grundlage, die sich als Fehlererkennungsmethode bewährt hat. Dieser Band erläutert alle Aspekte dieser Methode, von der instrumentellen Ausrüstung über spezifische Details der Mikroskope bis hin zu Merkmalen der Photonenemission unter verschiedenen Bedingungen. (11/00)
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Product Details
- Dec 22, 2000 Pub Date:
- 047149240X ISBN-10:
- 9780471492405 ISBN-13:
- English Language
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