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Microstereolithography and Other Fabrication Techniques for 3D Mems
by Varadan, Vijay K
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Description
Eine moderne Einführung in das relativ junge Gebiet der Erzeugung winziger Strukturen, die insbesondere zur Herstellung von Mikrosensoren, Schrittmotoren und miniaturisierten Signalverarbeitungseinheiten benötigt werden. Besprochen wird eine ganze Palette von Mikrofertigungstechniken wie Laserablation und LIGA. Angesprochen werden dabei auch modernste Anwendungsgebiete wie organische Dünnschichttransistoren (TFTs), Antennen, drahtlose Telemetriesysteme und Systeme zur Signalweiterleitung.
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Product Details
- Mar 30, 2001 Pub Date:
- 047152185X ISBN-10:
- 9780471521853 ISBN-13:
- English Language
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